半导体X-RAY检测设备 X-7900可以检测半导体5um以下缺陷、一键测量汽包大小及空洞率,并可以将缺陷几何放大400X,检测图像系统放大2500X。
功能:
CNC程序:自动批量检测样品不同位置 |
阵列功能:自动批量检测位置固定、间距相同样品 |
气泡测量:一键测量气泡大小、空洞率 |
长度、宽度测量:测量部分检测区域长度、宽度 |
可视化导航界面:检测位置精准定位 |
模拟颜色:更好观察检测图像 |
优势:
在线式自动 ON/OFF X-RAY光管批量检测样品 |
搭配90KV滨松X-RAY光管,检测精度达5um |
高分辨率数字X-RAY平板,1536*1536px图像更清晰 |
几何放大400x,系统放大2500x |
550*500mm载物台可容纳大量各种尺寸样品 |
可选载物台360°旋转检测样品 |
半自动的NG/OK产品检测 |
允许60°倾斜观测 |